Описание
Установка поштучной обработкой пластин до 150 мм снабжена генератором плазмы высокой плотности (патент РФ №2 171 555) со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13,56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.
В зависимости от задач Заказчика установка может быть укомплектована подогреваемым или охлаждаемым столом.