Caroline PE12

Цена: цену уточняйте

в наличии

Цены в категории: 100 ₽ — 29 744 738 ₽

ООО "ЭСТО-Вакуум"

Москва — На сайте с 13 сен 2019

Телефон: +7 (499) 710-60-00

Адрес компании: 124460, г. Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.4, стр.1
Доставка, самовывоз: Москва

Пожаловаться

Описание

Вакуумно-технологическая установка предназначена для плазмохимического, ионно-химического и ионного травления тонких пленок в вакууме на любых плоских (толщина не более 30 мм) подложках диаметром до 250 мм.
Установка полностью автоматизированного управления с поштучной обработкой пластин. Снабжена генератором плазмы высокой плотности (патент РФ №2 171 555) со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13,56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.
Для улучшения теплопровода от подложки предусмотрен так называемый «гелиевый теплоотвод» (дополнительная опция), который подразумевает подачу гелия между подложкой и поверхностью стола, что позволяет поддерживать небольшой перепад температур между поверхностью электрода и подложки.