Описание
Вакуумно-технологическая установка предназначена для двустороннего магнетронного нанесения на керамические, кремниевые и любые плоские подложки (толщина не более 30 мм) диаметром до 150 мм (максимальная плоскость обрабатываемых изделий 150x350мм).
Максимально установка комплектуется 7ю магнетронами, которые установлены 4 шт. внутри барабана и 3 шт. снаружи в специальных дверях. Напыление ведется на изделия, закрепленные в носителях на внутренней и внешней стороне, вращающейся вокруг вертикальной оси барабана.
Установка комплектуется магнетронами для распыления любых материалов, например, резистивные сплавы, Cu, Cr, Ni, Al и т.п.