Описание
Автоматизированная установка магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские подложки (толщина не более 30 мм) диаметром до 150 мм (максимальная плоскость обрабатываемых изделий 150x350мм).
Магнетроны (от 1 до 4 шт.) устанавливаются внутри барабана. Напыление ведётся вертикально, распыляя материал на внутреннюю сторону носителей, вращающихся на барабане.
Установка комплектуется магнетронами от одного до четырёх штук для распыления любых материалов, например, резистивные сплавы, Cu, Cr, Ni, Al и т.п.