Описание
Автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления на керамические, кремниевые, ситаловые и другие плоские подложки (толщина не более 30 мм) диаметром до 100 мм.
Мишени на магнетронах располагаются горизонтально. Над ними располагается карусель, вращающаяся в горизонтальной плоскости. Обработка изделий производится в горизонтальной плоскости, материал напыляется снизу вверх. При двусторонней обработки во время вращения карусели специальное устройство по очереди поворачивает носитель с закрепленным в нем изделием на 180° относительно своей оси.
Установка может быть укомплектована любым набором технологических устройств на пяти рабочих позициях: магнетрон, источник ионов, термический испаритель и устройство ионного распыления (занимает две позиции).