Описание
Серия вакуумного высокотехнологического оборудования, предназначенная для нанесения тонких пленок в вакууме на крупногабаритные и объемные изделия.
На установке обеспечиваются следующие процессы:
• Нанесение пленок из металлов (Al, Ti, Ni, Si…) и резистивных сплавов;
• Нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе нанесения слоев;
• Подготовка изделий методом ионного травления;
• Автоматическое выполнение всего технологического цикла.