Установка магнетронного напыления ЭТНА-М от производителя СИТЭК

Цена: цену уточняйте

в наличии

Цены в категории: 10 ₽ — 23 401 000 ₽

ООО «СИТЭК»

Москва — На сайте с 13 сен 2019

Телефон: +7 (495) 532-09-99

Адрес компании: 125315, г. Москва, ул. Часовая, д. 28, корп. 4
Доставка, самовывоз: Москва

Пожаловаться

Описание

Установка магнетронного напыления ЭТНА-М - собственная разработка и производство ООО «СИТЭК»

Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M

Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током. Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.

Технические параметры:

поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;
расположение – лицом вниз;
максимальная температура нагрева – 350 ºС;
диаметр используемых мишеней – 76 мм;
мощность источника постоянного тока 1100 Вт;
напряжение максимальное – 1000 В;
откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;
количество газовых каналов – один с максимальным расходом 20 см3/мин;
способ регулирования - электронный регулятор;
предельный вакуум – 10-6 торр;
управление – автоматическое от ПК или ручное;
контроль давления – с использованием химически стойкого мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов;
рабочее давление в реакторе – порядка 0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;
инфраструктурные требования – сжатый воздух;
питание - 220 В, не более 3 кВт;
масса не более 350 кг;

Дополнительные возможности по требованию заказчика

ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, устанавливаемый вместо магнетрона;
питание ионного источника – постоянным током от дополнительного контроллера;