Описание
Производитель: ОАО "НИИТОП" (Россия)
Предназначена для экспонирования УФ-чувствительных пленок, используемых в процессе разделения полупроводниковых пластин и подложек. Простота конструкции установки обеспечивает легкость в использовании и высокую надежность. В качестве источника излучения выбраны лампы, производящие коротковолновое ультрафиолетовое излучение. Время экспонирования пленки задается через цифровую панель оператора. В процессе экспонирования контролируется работоспособность каждой лампы. Установка выполнена в настольном исполнении для работы с пластинами и подложками габаритами до 200 мм.
Адгезивная УФ-пленка обладает следующими свойствами:
До экспонирования - высокая адгезия, обеспечивающая надежное удержание заготовок и предотвращающая сдвиг или «слетание» кристаллов в процессе резки. После экспонирования - экспонирование ультрафиолетом разрушает адгезивный слой, позволяя осуществлять безопасный съем кристаллов с пленки, существенно снижая вероятность их повреждения.
Преимущества УФ-210:
• Безопасный источник ультрафиолетового излучения, не образующего озон.
• Простое управление на базе микропроцессора с графической панелью.
• Легкая замена ламп и контроль их работоспособности.