Описание
Производитель: Собственное производство
Данная серия вакуумного оборудования включает в себя 11 типов установок для напыления, травления и осаждения различных материалов.
На установках реализуются следующие процессы:
Напыление любых резистивных пленок
Напыление металлов, в том числе тугоплавких и магнитных;
Напыление различных соединений металлов, нитридов, оксидов и кремния;
Нанесение диэлектрических слоев
Травление резистивных пленок, пленок металла, диэлектрических слоев; драгоценных металлов
Осаждение разных типов пленок: диэлектриков, металлических пленок