Описание
Наличными, Безналичный расчёт
Курьером, Самовывоз, Транспортной компанией
Производитель: Собственное производство
становка имеет цилиндрическую вакуумную диаметром 300 мм, длиной 400 мм, изготовленную из нержавеющей стали марки AISI 304. Корпус вакуумной камеры охлаждается проточной водой. Для загрузки/выгрузки образцов вакуумная камера оснащена водоохлаждаемой дверью на шарнире, соединяемой вакуумноплотно с вакуумной камерой при помощи эластичного уплотнения. Слева и справа на цилиндрической части камеры расположены фланцы CF40 для установки оптических окон из селенида цинка (спектральный диапазон 0,6 – 20 мкм). Сверху на цилиндрической части вакуумной камеры расположены фланцы KF40 для установки ручного клапана напуска атмосферного воздуха и датчика измерения давления (Pfeiffer Vacuum, PKR 251). На задней поверхности вакуумной камеры приварены водоохлаждаемые патрубки диаметром 63 и 100 мм для подключения вакуумного турбомолекулярного поста (Pfeiffer Vacuum HiCube Eco-80) и ввода ручного линейного перемещения переднего нагревателя соответственно. Камера отсекается от вакуумного турбомолекулярного поста при помощи ручного клапана. Снизу на цилиндрической части вакуумной камеры расположен фланец ISO180 для установки основного нагревателя-подложкодержателя. Все внутренние поверхности установки черненые. Коэффициент излучения (степень черноты) 0,93.
Основной нагреватель-подложкодержатель размером 40 х 120 мм изготовлен из молибдена. Имеется возможность установки на нагреватель-подложкодержатель двух образцов – с передней и задней сторон. В качестве нагревательного элемента использована фехралевая нить марки GS 23-5 (аналог Х23Ю5Т). Рабочая температура до 1000 0С, равномерность нагрева на площади 40 х 95 (центральная часть нагревателя) не хуже 0,5%. Подвод мощности и поддержание заданной температуры производится измерителем регулятором программным ТРМ251. Нагреватель-подложкодержатель расположен на высокоточном вакуумном вводе вращения. Привод осуществляется шаговым двигателем FL57STH41-2804AG30, управление – программируемым блоком управления шаговым двигателем SMSD-4.2. Минимальный угловой шаг вращения нагревателя – не более 0,5 град. Предусмотрена возможность установки «нулевого» положения и ограничения вращения по оптическим датчикам.